
在功率半导体领域,如何在高击穿电压下保持低导通电阻,一直是困扰器件设计的核心难题。传统垂直双扩散金属氧化物半导体(VDMOS)器件受制于所谓的“硅限”,其特征导通电阻会随着击穿电压的升高呈2.5次方关系急剧增大,这严重制约了高压高效能器件的开发。
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这一僵局被“超结”理论的提出与应用所打破。该技术的核心思想是用交替排列、电荷平衡的高掺杂N型柱和P型柱,取代传统VDMOS中单一的低掺杂漂移区。在阻断状态下,这种结构能实现漂移区的快速完全耗尽,形成近似矩形的电场分布,从而大幅提升耐压能力。
理论演进历程显示,超结概念的雏形可追溯至上世纪80年代末。1988年,飞利浦公司的工程师David J. Coe在横向高压MOSFET中提出了类似结构。随后,电子科技大学陈星弼教授于1993年、西门子公司于1995年分别对纵向功率器件的类似结构进行了探索。直至1997年,日本学者Tatsuhiko等人将其总结并正式提出了“超结”理论。
超结技术的革命性在于,它使得器件的特征导通电阻与击穿电压之间从原来的2.5次方关系转变为近似线性关系。这意味着在实现相同耐压等级时,超结VDMOS的导通损耗可以显著低于传统结构。这一突破直接推动了新一代高效、紧凑功率器件的发展,在服务器电源、工业驱动及新能源等领域具有广阔应用前景。对于电子元器件供应链,尤其是服务于高端可编程逻辑与系统集成的ADI代理商而言,关注此类底层器件技术的进步,有助于把握整体解决方案的能效演进趋势。
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